柱面镜可以把光线在一个方向上汇聚为一条线,如图1所示,被广泛应用于光学检测、光束整形、激光雷达等多个领域。
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本产品基于补偿干涉检测原理将平行光通过柱面计算全息(CGH Cylinder Nulls)转化为柱面波前,从而实现柱面面形检测,工作示意图如图2所示:
![](/upfile/2023/10/20231012112031_850.jpg)
柱面CGH共有4种型号,2英寸和3英寸型号CGH图形区域为方形;4英寸和6英寸型号CGH图形区域为圆形,具体型号及关键参数如图3和图4。
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CGH需要配合多维精密调整架组成“CGH-调整架”套件进行使用,CGH调整架示意图及关键尺寸标注图如图5所示,调整架关键参数如表1展示。
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编号 |
参数 |
指标 |
1 |
重量 |
3kg(包含CGH) |
2 |
中心光高 |
145mm |
3 |
调整维度 |
△X、△Y、△Z、θX、θY、θZ |
4 |
位移调整范围 |
±3mm |
5 |
位移调整分辨率 |
0,01mm |
6 |
角度调整范围 |
±1.5° |
7 |
角度调整分辨率 |
0.05mrad |
如对柱面CGH选型及使用有其他问题,请参考如下附件文档:
附件1:《柱面CGH选型工具使用说明》
附件2:《柱面CGH使用说明》 |