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柱面计算全息图参数

型号

2英寸

3英寸

4英寸

6英寸

外形尺寸(mm)

50.8*50.8

76.2*76.2

152.4*152.4

152.4*152.4

主区域形状

方形

方形

圆形

圆形

主区域尺寸(mm)

38*38

60*60

∅95

∅140

对准区尺寸(mm)

45*45

67*67

∅102

∅148

适配干涉仪尺寸

4英寸/6英寸

4英寸/6英寸

4英寸/6英寸

4英寸/6英寸

适配干涉仪类型

菲索干涉仪,迈克尔逊干涉仪

F#

0.7 / 1.0 / 1.5 / 2.0 / 3.0 / 4.0 / 5.0 / 6.0 / 10.0

参考光

平行光

工作波长

常规632.8nm,可以根据客户波长定制

精度

RMS优于6nm

CGH倾角

关于X的+1度

结构配件

六维调整架+转接框

六维调整架

 

      柱面计算全息图(柱面CGH)通过表面衍射光栅把平面波转化为柱面波,从而和待测柱面进行匹配,实现零位干涉检测。相比柱面样板,其检测精度更高,通用性更好;相比轮廓检测,其检测速度更快,不损伤镜片表面,是柱面加工厂商的好帮手,下图为柱面计算全息的工作原理图


 

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